ピコメートルオーダ分解能変位計測技術

書誌事項

タイトル別名
  • Displacement Measurement Method with Picometer Order Resolution
  • ピコメートルオーダ ブンカイノウ ヘンイ ケイソク ギジュツ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 85 (4), 318-322, 2019-04-05

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (19)*注記

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