SEM式ナノプロービングシステムの開発と半導体デバイス解析への応用

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タイトル別名
  • Development of SEM based Nano-Probing System and Its Application
  • SEMシキ ナノプロービング システム ノ カイハツ ト ハンドウタイ デバイス カイセキ エ ノ オウヨウ

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説明

<p>近年のLSI故障解析ではデバイスの微細化，構造の複雑化に伴い，詳細な故障箇所同定が困難となっている．これに対応するための技術として走査電子顕微鏡（SEM）を用いたナノプロービングシステムが開発された．SEM式ナノプロービングシステムではSEMで観察しながら，トランジスタや配線に微細探針を接触させ，電気特性を計測する．本稿ではSEM式ナノプロービングシステムの実用化に対する開発課題（微細箇所へのプロービング可能な探針形状，高精度，高信頼測定のためのプローブ―試料間接触抵抗低減，探針長寿命化，高スループット化の為の高精度迅速プローブ動作制御，迅速プローブ交換，使いやすさのためのSEMの高画質化，広視野化など）および実際の解析事例について概説する．</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 44 (3), 157-160, 2009-09-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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