収束電子線を用いた超解像イメージング
書誌事項
- タイトル別名
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- Super-resolution imaging using a focused electron beam
抄録
<p>我々は、収束電子線を用いて、これまでの空間分解能を超えた顕微鏡の開発を行っている。極薄蛍光体薄膜に電子線を照射し生成したナノ光スポットを用いて、超解像光学顕微鏡ができることを示した。また、電界効果による電子線励起電流の変化からイオン濃度分布を可視化する高空間分解能な化学センサーを開発している。このように収束性の高い電子線を応用することでこれまでの限界を超えた顕微鏡を開発できる。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 402-403, 2019-08-20
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390565134829994496
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- NII論文ID
- 130007800918
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可