極短波長領域のハイブリッドArF レーザー加工技術の開発

DOI Web Site Web Site 参考文献15件

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タイトル別名
  • Development of Laser Processing Technology with Hybrid ArF Laser in Extremely Short Wavelength
  • ゴクタンパチョウ リョウイキ ノ ハイブリッド ArF レーザー カコウ ギジュツ ノ カイハツ

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説明

Laser processing is required in an extremely short wavelength because getting high-power solid-state lasers is difficult below a wavelength of 200 nm. In an extremely short wavelength region, the energy from a single photon can match the bond energy levels of various carbon compounds and the band gaps of solid materials, enabling these compounds and solids to be processed directly by one or two photons. We developed a hybrid ArF laser, which combines a solid-state laser oscillator and an excimer laser amplifier. We achieved high light-harvesting efficiency and high coherence of a hybrid laser, which has an M2 value of 1.6 and an average power of 110 W with three-pass amplifications.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 45 (9), 571-, 2017

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (15)*注記

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