位相限定相関法による位置検出の精度評価における機械学習の応用

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タイトル別名
  • Applying Machine Learning to Accuracy Evaluation of Position Detection based on Phase Only Correlation

抄録

<p>露光装置における画像処理用いた位置合わせにおいて,位相限定相関法を適応した.その結果から算出された位置ずれ量は異常値となる場合もあり,その値の大きさからでは判定ができない. そこで本研究では,位相限定相関法によって得られた画像に対し,AIを用いた異常検知を試みた.この結果,異常画像をPositiveとした場合,Accuracyは96%程度,Recallは99[%]程度の精度が得られた.</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390569845478508672
  • NII論文ID
    130008051690
  • DOI
    10.11517/pjsai.jsai2021.0_2yin519
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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