電気泳動堆積法により極小Au櫛型電極上に形成されたSmFeO<sub>3</sub>膜のNO<sub>2</sub>ガスセンシング特性

DOI Web Site Web Site 参考文献20件
  • 板垣 吉晃
    愛媛大学大学院理工学研究科物質生命工学専攻
  • 森 雅美
    愛媛大学大学院理工学研究科物質生命工学専攻
  • 定岡 芳彦
    愛媛大学大学院理工学研究科物質生命工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • NO<sub>2</sub> Gas Sensing Properties of Electrophoretically Deposited SmFeO<sub>3</sub> Films on an Au Comb-type Microelectrode
  • 電気泳動堆積法により極小Au櫛型電極上に形成されたSmFeO₃膜のNO₂ガスセンシング特性
  • デンキ エイドウ タイセキホウ ニ ヨリ キョクショウ Auグシガタ デンキョク ジョウ ニ ケイセイ サレタ SmFeO ₃ マク ノ NO ₂ ガスセンシング トクセイ

この論文をさがす

抄録

<p>電気泳動堆積法（EPD）を用いて微小Au櫛型(くしがた)電極上に半導体膜を形成し，NO2ガスに対する応答特性を評価した．検知材料にはSmFeO3を用い，シアノ錯体を500と900℃ で熱分解することで調製した．SmFeO3粒子の懸濁液の液滴中で電気泳動させることにより，Au櫛型電極上に選択的に検知膜を形成することができた．NO2に対する応答は，作動温度の低下とともに増加し，250℃ で最大となった．また，高表面積が得られた500℃ 熱分解SmFeO3を用いた素子において高い応答性が得られた．特に，500℃ 熱分解SmFeO3の堆積膜を600℃ で焼結した場合，10 ppm NO2に対してS＝96の非常に高い応答を示し，かつ0.2 ppmの低濃度NO2に対しても有意な感度が得られることが分かった．</p>

収録刊行物

  • 分析化学

    分析化学 70 (6), 373-378, 2021-06-05

    公益社団法人 日本分析化学会

参考文献 (20)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ