形状記憶合金のマイクロ・ナノデバイス応用

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  • 櫻井 淳平
    東海国立大学機構 名古屋大学 工学研究科 マイクロ・ナノ機械理工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Application for Micro/Nano Devices using Shape Memory Alloys
  • ケイジョウ キオク ゴウキン ノ マイクロ ・ ナノデバイス オウヨウ

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抄録

<p>The shape memory alloys (SMAs) are known to exhibit shape memory effect and super elasticity. Thus far, micro electro mechanical systems (MEMS) devices and micro actuator using shape memory effect were developed. Recently, the super elasticity and electrocaloric effect are attracted, some microdevices using those effect have already been reported. In this review, the recent progress in the MEMS field of the SMAs was described. </p>

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