Real Time Nanoscale Observation in Cleaning Phenomena by Evanescent Field

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Other Title
  • エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究
  • 3rd report: Detachment and Reattachment Behaviors of 20 nm Gold Single-particles during Enforcing Ultrasonic
  • 第3報：超音波（MHz波）照射時の単一20nm金粒子剥離・再付着挙動

Description

<p>半導体製造中の接触・非接触洗浄工程を光学系顕微鏡上で再現し，表面近傍における研磨ナノ粒子挙動をエバネッセント光によって実時間で観測することにより，現象の解明を試みてきた．本稿では，シリカガラス表面に付着した50nm以下の金粒子径を精度よく見積もり可能であることを実証した上で，超音波照射中に液中で発生し表面に接近した気泡雲によって 20nm金粒子が剥離・再付着された挙動を1000fpsで可視化し，現象を分類したので報告する．</p>

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390570729659830656
  • NII Article ID
    130008083994
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021s.0_314
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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