表面プラズモンポラリトンを用いた発色型媒質濃度センサの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- 共振器構造の作成
抄録
<p>表面プラズモンポラリトンとは金属表面での自由電子の集団振動と，入射光の共鳴反応である．屈折率に敏感に反応するため媒質濃度センサとして利用されている．本研究では光共振器を用いた白色光の分光を併用することでセンサの感度向上を目指す．本報告では，誘電体を金属で挟んだ共振器構造の製作を目指し，金属層のスパッタリングによる成膜，及び誘電体層のスピンコートによる成膜，及びその光学特性を報告する．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 627-628, 2021-03-03
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390570729660626048
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- NII論文ID
- 130008084128
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可