表面プラズモンポラリトンを用いた発色型媒質濃度センサの開発

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  • 共振器構造の作成

Abstract

<p>表面プラズモンポラリトンとは金属表面での自由電子の集団振動と，入射光の共鳴反応である．屈折率に敏感に反応するため媒質濃度センサとして利用されている．本研究では光共振器を用いた白色光の分光を併用することでセンサの感度向上を目指す．本報告では，誘電体を金属で挟んだ共振器構造の製作を目指し，金属層のスパッタリングによる成膜，及び誘電体層のスピンコートによる成膜，及びその光学特性を報告する．</p>

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390570729660626048
  • NII Article ID
    130008084128
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021s.0_627
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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