Photocatalyst-assisted transfer-printing with self-assembled monolayer as releasing layer

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  • 自己組織化単分子膜を用いた光触媒援用トランスファプリント

Abstract

<p>自己組織化単分子膜（SAM）を離型層とした光触媒援用トランスファプリント（TP）を試みている．TiO2膜つきスタンプにAHAPSまたはAPTESのSAMを形成した後，転写するAu薄膜を蒸着した．光触媒効果でSAMが分解されて接触面積が減少し，Au薄膜の離型性を向上させることに成功した．ポリスチレンを離型層とした場合に比べて，UVドーズ量を1/3程度まで減少させることができた．</p>

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390570729660652160
  • NII Article ID
    130008084298
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021s.0_785
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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