モノクロメーター搭載STEM-EELSによる局所電子状態分析

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タイトル別名
  • Local Electronic State Analysis by Monochromated STEM-EELS
  • モノクロメーター トウサイ STEM-EELS ニ ヨル キョクショ デンシ ジョウタイ ブンセキ

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抄録

<p>新しい世代のモノクロメーターの開発は，電子エネルギー損失分光法（EELS）のエネルギー分解能を向上させると同時に，球面収差補正走査透過電子顕微鏡（STEM）と組み合わせることにより，高い空間分解能での局所電子状態分析を可能にしている．STEM-EELS法の特徴を最大限に発揮させるためには，質の高いスペクトルを計測することが不可欠である．本稿では，スペクトル検出器（CCD）のダークノイズを効率的に除去することで，スペクトルのシグナル／ノイズ比を劇的に向上させる手法を紹介した後，内殻電子励起スペクトルの吸収端微細構造を用いた高温超伝導体の原子分解能ホールマッピングや遷移金属酸化物中の酸素八面体構造の解析について紹介する．さらに，高エネルギー分解能化の効果が顕著となる有機薄膜の炭素K殻吸収端微細構造や金属ナノ粒子の表面プラズモンポラリトンに関する研究成果についても述べる．</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 56 (2), 73-80, 2021-08-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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