光照射を利用したポリイミド及びフッ素樹脂基板上への大気中銅配線形成技術

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Formation Method of Copper Fine Wire on Polyimide and PTFE in Air Using Photoirradiation
  • ヒカリ ショウシャ オ リヨウ シタ ポリイミド オヨビ フッソ ジュシ キバン ジョウ エ ノ タイキ チュウ ドウ ハイセン ケイセイ ギジュツ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 72 (6), 325-332, 2021-06-01

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (12)*注記

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