EMアルゴリズムを用いたRHEED画像の機械学習自動解析

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タイトル別名
  • Machine learning analysis for RHEED images using EM algorithm

抄録

<p>RHEED(反射高速電子線回折)は薄膜評価に広く用いられるが，回折パターン全体の定量的な解釈は難しく，情報を十分に活用できていない。そこで我々は，機械学習を利用した情報抽出を試みた。Si清浄表面の金属蒸着量に依る表面超構造変化を捉えたRHEED画像において，EMアルゴリズムを用いて輝度ヒストグラムの解析を行った。ピーク形状の変化を追うことで，各表面超構造作製における最適蒸着時間の見積もりが行えた。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390571968054430080
  • NII論文ID
    130008134164
  • DOI
    10.14886/jvss.2021.0_2dp03s
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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