EMアルゴリズムを用いたRHEED画像の機械学習自動解析
書誌事項
- タイトル別名
-
- Machine learning analysis for RHEED images using EM algorithm
抄録
<p>RHEED(反射高速電子線回折)は薄膜評価に広く用いられるが,回折パターン全体の定量的な解釈は難しく,情報を十分に活用できていない。そこで我々は,機械学習を利用した情報抽出を試みた。Si清浄表面の金属蒸着量に依る表面超構造変化を捉えたRHEED画像において,EMアルゴリズムを用いて輝度ヒストグラムの解析を行った。ピーク形状の変化を追うことで,各表面超構造作製における最適蒸着時間の見積もりが行えた。</p>
収録刊行物
-
- 日本表面真空学会学術講演会要旨集
-
日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 2Dp03S-, 2021
公益社団法人 日本表面真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390571968054430080
-
- NII論文ID
- 130008134164
-
- ISSN
- 24348589
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可