パルスマグネトロンスパッタリング法によるナノクラスター担持機能材料

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Nanocluster functional materials with pulsed magnetron sputtering method

説明

<p>原子が数個から数百個程度凝集したナノクラスター（NC）は機能材料の単位として注目され、触媒や電磁気特性、光物性の単位は、NCを精密に担持や集積する必要がある。本研究ではスパッタリングをパルス的に行う高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法を用いて、白金や銀の単成分や金属-シリコンの複合成分のNCをイオン電流量nA程度の量で生成させ、電池触媒や光応答表面、電気伝導体などの機能材料に展開した。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390571968055306624
  • NII論文ID
    130008134174
  • DOI
    10.14886/jvss.2021.0_3ba01
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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