共スパッタ法を用いたAu添加Ta2O5薄膜の作製とその光学特性の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Characterization of Au-Doped Ta2O5 Thin Films Prepared Using a Simple Co-Sputtering Method
抄録
簡便な共スパッタ法を用いてAu添加Ta2O5薄膜を成膜し，700℃で熱処理を行った試料の透過スペクトルから，Auナノ粒子によると思われる光吸収が観測された．我々の共スパッタ法を用いて，薄膜中にAuナノ粒子を作製できる可能性を初めて見出した．
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390572174734548736
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- ISSN
- 18810217
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可