成長触媒追加供給による樹枝状炭素ナノチューブ構造の形成

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  • Formation of Branched Carbon Nanotube Structure by Additional Supply of Growth Catalysis
  • セイチョウショクバイ ツイカ キョウキュウ ニヨル ジュシジョウ タンソ ナノチューブ コウゾウ ノ ケイセイ

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抄録

プラズマ支援気相成長の前過程として成長触媒を堆積させることにより均一なカーボンナノチューブ(CNT)の合成が可能である。RFマグネトロン放電中に水素希釈したメタンガスを導入し、Si基板にスパッタ蒸着する材料をTi、Fe、Mo、Niと変化させると形成されるカーボンナノ構造が変化する。試験材料の中では、Ni微粒子がもっとも小さな構造寸法を有していた。Si基板上に印加するバイアスを適切に保持するとき、垂直配向成長したCNT層を合成される。この過程に加えて、プラズマ合成中にもNi触媒を追加することで、樹枝上に成長した特異なCNT構造を形成できた。Ni触媒を供給する手順は形成したCNT構造に直接影響を与える。

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