狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの大気圧プラズマによるワイヤ電極を用いた内壁無歪み加工
-
- Matsumura Shotaro
- Graduate School of Engineering, Osaka University
-
- Ogasahara Iori
- School of Engineering, Osaka University
-
- Nakano Shota
- Graduate School of Engineering, Osaka University
-
- Osaka Taito
- SPring-8 Center, RIKEN
-
- Yabashi Makina
- SPring-8 Center, RIKEN
-
- Yamauchi Kazuto
- Graduate School of Engineering, Osaka University
-
- Sano Yasuhisa
- Graduate School of Engineering, Osaka University
Abstract
<p>チャネルカット結晶はSPring-8のような高輝度硬X線光源におけるモノクロメータとして有用である.しかしその複雑な形状から,反射面である内壁側面部に既存の高精度研磨技術を適用できない.我々はこれまで大気圧プラズマによるエッチング技術を応用し,内壁の無歪み加工手法を開発してきた.狭い溝構造を有する内壁面にも適用が可能な電極として,新たに直径50 µmのニッケルワイヤを電極として採用し,その加工特性を評価した.</p>
Journal
-
- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
-
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2021A (0), 542-542, 2021-09-08
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390573242514142208
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
-
- Abstract License Flag
- Disallowed