走査型非線形誘電率顕微鏡による(Hf,Zr)O<sub>2</sub>薄膜の観察
書誌事項
- タイトル別名
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- Observation of (Hf,Zr)O<sub>2</sub> thin films by scanning nonlinear dielectric microscopy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1241-1241, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会