Epitaxial growth of γ-(Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>)<sub>2</sub>O<sub>3</sub> alloy thin films by mist chemical vapor deposition

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  • ミストCVD法によるγ-(Al<sub>x</sub>Ga<sub>1-x</sub>)<sub>2</sub>O<sub>3</sub>混晶薄膜成長

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