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波長混合励起金ナノ粒子プラズモンによるシリコンのラジカル窒化
DOI
北嶋 武
防大電気
三宅 万智子
防大電気
桑田 渉真
防大電気
中野 俊樹
防大電気
書誌事項
タイトル別名
Radical nitridation of silicon by wavelength-mixed gold nanoparticle plasmons
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1493-1493, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
19p-Z02-3
プラズマエレクトロニクス
プラズマナノテクノロジー
ナノ構造による新機能
プラズマ
プラズモン
金ナノ粒子
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390573947549877248
DOI
10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1493
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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