化学気相成長法を用いて形成した厚絶縁膜の化学結合と電気特性の関係
書誌事項
- タイトル別名
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- Relation between chemical bonds and electrical properties of thick insulation film formed by chemical vapor deposition
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2281-2281, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会