Formation of silver nanofuzz structure using low-temperature high-density plasma treatment
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- Sekido Takuro
- Osaka University
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- Nakamura Koki
- Osaka University
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- Kakiuchi Hiroaki
- Osaka University
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- Ohmi Hiromasa
- Osaka University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成
Abstract
<p>我々は、スーパーキャパシタ電極や触媒として利用可能な金属表面ナノ構造を、低環境負荷なプラズマプロセスにより創成することを試みている。これまで、水素プラズマを用いたナノポーラス構造の形成に成功してきた。今回、より表面積の大きなナノファズ構造銀表面を形成するため、中圧域で生成した低温高密度Heプラズマの利用を試み、ナノ構造の支配因子を検討した。その結果を報告するとともに、形成機構について議論する。</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2022S (0), 80-80, 2022-03-02
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390574754489463808
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
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- Abstract License Flag
- Disallowed