高硬度離型剤フリー樹脂による反射防止構造を持ったレプリカモールドの転写耐久特性
書誌事項
- タイトル別名
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- Durability of replica mold with anti-reflection-structure made by high-hardness release-agent-free UV curable resin
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 1671-1671, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会