マイクロ波励起水中気泡内プラズマによるスピンオングラス膜の酸化改質処理の効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of Oxidative Modification on Spin On Glass Film using Microwave Excited Bubble Plasma in Water
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 1856-1856, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会