ScAlN薄膜/水晶基板またはサファイア基板構造における縦型リーキーSAW伝搬特性の理論解析

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • LLSAW propagation characteristics for ScAlN film/Quartz or Sapphire substrate

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ