A Study on an Acid Gas Removal System Using Alkaline Electrolyzed Water for an Air Washer

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  • アルカリ電解水を用いたエアワッシャの酸性ガス除去システムの研究

Abstract

<p>半導体および液晶工場のクリーンルーム内製造環境では、分子汚染物質（AMCs）が製品の歩留や製造装置に影響を及ぼす。エアワッシャは外気中の水溶性AMCsを水と気液接触させることにより除去する装置である。エアワッシャ単独ではAMCs除去能力が十分ではないため、ケミカルフィルタの設置が必要となる。本研究では、エアワッシャのAMCs除去性能を向上させることで、外調機のケミカルフィルタを不要とした酸性ガス除去システムを開発した。</p>

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