白色干渉計による非接触式表面粗さ測定の技術動向

DOI
  • 佐藤 慶一
    キヤノンマーケティングジャパン(株) 産業機器事業部 第二営業本部 技術部 技術第一課

書誌事項

タイトル別名
  • Recent Trends in Non-Contact Surface Roughness Measurement by White Light Interferometry

抄録

<p>In the area of precision manufacturing, there is an increasing demand for high-speed, non-contact optical surface roughness measurement. White light interferometry is a dominant technology to generate quantitative 3D images of surfaces. White light interferometry, also known as coherence scanning interferometry (CSI), is classified in Part 604 of ISO25178-6 (2010):Geometrical Product Specifications methods for measuring surface texture (GPS) ‒Surface texture: Areal ‒Part 6: Classification of methods for measuring surface texture. Coherence scanning interferometry provides quantitative maps of the surface topography for a million image points in a few seconds. This paper describes the basic technique and the latest technical trend for tribological surface structure analysis.</p>

収録刊行物

  • トライボロジスト

    トライボロジスト 67 (11), 770-775, 2022-11-15

    一般社団法人 日本トライボロジー学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390575588683206528
  • DOI
    10.18914/tribologist.67.11_770
  • ISSN
    21899967
    09151168
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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