GaN MOVPEにおける結晶成長マルチフィジックス流動シミュレーション
書誌事項
- タイトル別名
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- Multiphysics Simulation of Flow with Crystal Growth in GaN MOVPE
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 3407-3407, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会