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HFC-1234yfの電子物性と解離
DOI
林 俊雄
名古屋大工
関根 誠
名古屋大工
石川 健治
名古屋大工
堀 勝
名古屋大工
書誌事項
タイトル別名
Electronic properties and dissociation channels of HFC-1234yf
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1684-1684, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
13a-B9-1
プラズマエレクトロニクス
プラズマエッチング
絶縁膜のエッチング
半導体
酸化膜エッチングガス
計算化学
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390576656680920960
DOI
10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1684
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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