ハフニウム上に作製したGaN薄膜の特性評価

DOI

金惠蓮

東大・生研
太田実雄

東大・生研 JST-さきがけ
小林篤

東大・生研
上野耕平

東大・生研
藤岡洋

東大・生研 JST-ACCEL

書誌事項

タイトル別名

Characterization of GaN films grown on hafnium

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 3116-3116, 2016-09-01

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390576656682152064
DOI

10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3116
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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