円筒マイクロ部品内面への円錐ミラーを用いた円周一括露光技術の基礎検討
抄録
<p>円筒形状試料の内面円周方向に一括でリソグラフィによりパターンを形成する技術を検討した。試料の内側に円錐状のミラーを配置する投影露光装置を自作し、線幅300μmと100μmの環状パターンを描いたレチクルを用い、ネガ型レジストを塗布した内径14mmの透明な円筒試料の内面に露光を行なった。300μmライン&スペースパターンを全周に、100μmパターンを部分的に形成できた。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022A (0), 340-341, 2022-08-25
公益社団法人 精密工学会