円筒マイクロ部品内面への円錐ミラーを用いた円周一括露光技術の基礎検討

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Abstract

<p>円筒形状試料の内面円周方向に一括でリソグラフィによりパターンを形成する技術を検討した。試料の内側に円錐状のミラーを配置する投影露光装置を自作し、線幅300μmと100μmの環状パターンを描いたレチクルを用い、ネガ型レジストを塗布した内径14mmの透明な円筒試料の内面に露光を行なった。300μmライン&スペースパターンを全周に、100μmパターンを部分的に形成できた。</p>

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