微小物体可視化センサLSIの設計

DOI 機関リポジトリ Web Site 被引用文献1件 参考文献2件

書誌事項

タイトル別名
  • The design of the Microscopic Object Visualization Sensor LSI
  • ビショウ ブッタイ カシカ センサ LSI ノ セッケイ

この論文をさがす

説明

金沢大学融合研究域融合科学系 / 金沢大学大学院自然科学研究科情報システム / 金沢大学工学部

This paper describes the design of the microscpic object visualization sensor LSI. Electrodes as sensor plates areplaced on the surface of the chip in lattice, and distance are measured as the capacitance between the sensor plate and the object. The obtained capacitance is converted to the frequency, and is output as distance information for each sensor plate. We discussed the architecture of the sensory system, and we found that the accuracy of measurement is depend on the arrangement of the oscillator, as well as the oscillator frequency is modulated according to the capacitances. We also designed the sensor plate array with oscillator in each sensor plate.

センサLSI 上に物体を乗せることにより拡大画像を得る微小物体可視化センサLSI の設計を行う。可視化センサのチップ上部にセンサプレートを格子状に配置し、物体との距離を測るのにセンサプレート-物体間で生まれる容量を用いて各センサプレート上の物体との距離を測定する。得られた容量は発振器の発振周波数に変換され、距離情報として出力される。この原理に基づくセンサLSI の回路構成を検討し、発振器の配置によって検出精度が変わること、および得られた容量により発振周波数が変化するのを確認し、微小物体可視化センサLSI とテスト回路の設計を行った。

収録刊行物

被引用文献 (1)*注記

もっと見る

参考文献 (2)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ