パルスマイクロ波プラズマを用いたインライン溶液処理装置における処理性能のDuty比依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Duty Ratio Dependence of Treatment Performance in In-line Liquid Treatment Device Using Pulsed-Microwave Plasma
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 1613-1613, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会