サファイア基板上Mg/Si共堆積膜のポストアニールによるMg<sub>2</sub>Si膜固相合成
書誌事項
- タイトル別名
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- Solid-phase synthesis of Mg<sub>2</sub>Si film by post-anneal of co-deposited Mg/Si on sapphire
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 2844-2844, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会