書誌事項
- タイトル別名
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- Mechanical and Chemical Characteristics of Low Temperature Deposited Dielectric Layer for Direct Bonding
- チョクセツ セツゴウ ニ ムケタ テイオン タイセキマク ノ キカイテキ ・ カガクテキ ヒョウカ
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収録刊行物
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- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 32 (0), 153-156, 2022
一般社団法人 エレクトロニクス実装学会