回折現象を利用した金属3次元ナノ周期構造の作製（第3報）
書誌事項
- タイトル別名
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- 反応速度および金属原子の拡散律速に着目した成形精度の検討
抄録
<p>金属イオンを含有させたフォトレジスト薄膜内部で発生させた，回折現象由来の周期的な光強度分布による光還元反応を利用して金属三次元ナノ周期構造を作製する加工法を提案している．光還元反応により析出した金属原子が凝集することで構造が形成されるため，反応速度と金属原子の拡散律速が構造の形状精度に影響をおよぼす．そこで，露光量と露光時間の関係から析出する粒径の関係を明らかにすることで金属微細構造を作製する．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 428-429, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会