レーザ表面処理による形状記憶合金への二方向駆動性付与

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Abstract

<p>形状記憶合金はマイクロデバイスの駆動材料としての応用が期待されるが,一方向のみに駆動するため,微細化においてバイアス力の付与方法に課題があった.そこで本研究では,レーザ表面処理による二方向駆動性付与を検討した.その結果,直線に形状記憶処理したTiNi帯材に赤外レーザを照射することで,外力なく曲げの二方向駆動性が発現することを示し,表面の溶融凝固組織が二方向駆動を誘引する応力源となることを明らかにした.</p>

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