強磁石を用いた新機構研磨装置の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of new concept polisher using magnet
抄録
<p>研磨を行うには研磨圧力に相当する荷重を与える必要があるが，デッドウェイト等に頼るとき，研磨装置の大型化は避けられない．一方，小型基板の研磨仕上げが求められ，それに対応できる小型研磨装置のニーズも生まれている．本研究では小型基板を対象に，研磨装置の小型化も達成するために研磨荷重を強磁石による磁力によって与える手法を提案し，プロトタイプ装置を試作した．本報告では試作装置による研磨特性について述べる．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 792-793, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会