4H-SiC(0001)面上熱酸化SiO<sub>2</sub>膜の特異性の検証

DOI

細井卓治

阪大院工
上西悠介

阪大院工
箕谷周平

ローム
中野佑紀

ローム
中村孝

ローム
志村考功

阪大院工
渡部平司

阪大院工

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.2 (0), 3392-3392, 2012-08-27

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390579156089115008
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_3392
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

書き出し

問題の指摘

ページトップへ