アルカリ電解水を用いたエアワッシャの酸性ガス除去システムの研究 (第2報)実規模実験装置における性能評価
書誌事項
- タイトル別名
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- A Study on an Acid Gas Removal System Using Alkaline Electrolyzed Water for an Air Washer Part2: Performance evaluation of full-scale experiment device
抄録
<p>半導体および液晶工場のクリーンルーム内製造環境では、分子状汚染物質(AMCs)が製品の歩留や製造装置に影響を及ぼす。前報において外調機のケミカルフィルタを不要とした酸性ガス除去システムの概要およびSO2除去性能評価について報告した。本報では、スケールアップした電解水エアワッシャシステムのSO2除去性能について報告する。また、電解水供給システムにおける導電率の測定ポイントを変更することにより電解水量の応答性が改善されることを確認した。</p>
収録刊行物
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- 空気調和・衛生工学会大会 学術講演論文集
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空気調和・衛生工学会大会 学術講演論文集 2022.7 (0), 41-44, 2022
公益社団法人 空気調和・衛生工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390579399399133952
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- ISSN
- 24242179
- 18803806
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可