CiNii 国立情報学研究所 学術情報ナビゲータ[サイニィ]
詳細へ移動
検索フォームへ移動
メニュー
検索
論文・データをさがす
大学図書館の本をさがす
日本の博士論文をさがす
English
検索
タイトル
人物/団体名
所属機関
ISSN
DOI
期間
〜
本文リンク
本文リンクあり
データソース
JaLC
IRDB
Crossref
DataCite
NDL
NDL-Digital
RUDA
JDCat
NINJAL
CiNii Articles
CiNii Books
CiNii Dissertations
DBpedia
Nikkei BP
KAKEN
Integbio
MDR
PubMed
LSDB Archive
極地研ADS
極地研学術DB
公共データカタログ
ムーンショット型研究開発事業
【2024年7月2日更新】CiNii Dissertations及びCiNii BooksのCiNii Researchへの統合について
新「国立国会図書館サーチ」公開によるCiNiiサービスへの影響について
実験的サービス公開サイトであるCiNii Labsを公開しました。
溶解抑制剤を添加した3成分系化学増幅型EUVレジストの開発II
DOI
石黒 啓太
金沢工大
河野 昭彦
金沢工大
榎本 一之
阪大院
山本 洋揮
阪大産研
遠藤 政孝
阪大産研
田川 精一
阪大産研
堀邊 英夫
金沢工大
阪大産研
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 1665-1665, 2012-02-29
公益社団法人 応用物理学会
Tweet
キーワード
18p-A4-5
ビーム応用
リソグラフィ
EUV
レジスト
溶解抑制剤
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390579599232078976
DOI
10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1665
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
書き出し
RefWorksに書き出し
EndNoteに書き出し
Mendeleyに書き出し
RDFで書き出し
Refer/BibIXで表示
RISで表示
BibTeXで表示
TSVで表示
CSVで表示
JSON-LDで表示
問題の指摘
論文情報の修正
その他
ページトップへ
