ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性のプリベーク温度依存性

DOI

石黒啓太

金沢工大
河野昭彦

金沢工大
関口淳

リソテックジャパン
谷口克人

AZエレクトロニックマテリアルズ
田中初幸

AZエレクトロニックマテリアルズ
堀邊英夫

金沢工大阪大

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 1688-1688, 2011-03-09

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390580250920353920
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1688
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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