PZT薄膜の単結晶化技術と圧電MEMSの開発・製造

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タイトル別名
  • Single crystallization technology of PZT thin film and its industrial application

抄録

<p>市場動向からMEMSの高性能化・低コスト化が求められている．我々はその中で材料技術に着目し，圧電材料であるPZT（酸化ジルコン酸鉛）薄膜の単結晶化を達成し，市場に投入している．圧電薄膜の単結晶化により高い圧電定数と低い比誘電率の両立，高信頼性の達成，温度安定性の向上などさまざまなメリットを得ることができ，今後の圧電MEMSデバイスの発展に寄与できるものと考えている．また，本技術はPZT以外にもさまざまな圧電膜を単結晶化させる可能性を示している．本稿では圧電膜の単結晶化技術を中心に圧電MEMSの開発・製造を紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 93 (3), 161-164, 2024-03-01

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390580793844977408
  • DOI
    10.11470/oubutsu.93.3_161
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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