Report on the 176th Seminar of Division of Sputtering and Plasma Processes, the 20th Technical Seminar and The Japan Institute of Electronics Packaging, Sensory Evaluation Systematization Working Group, FY2023 2nd Open Workshop

DOI Web Site
  • MOTOMURA Taisei
    National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)

Bibliographic Information

Other Title
  • 日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）第176回定例研究会，第20回技術交流会およびエレクトロニクス実装学会 官能検査システム化研究会 2023年度第2回公開研究会開催報告

Journal

  • Vacuum and Surface Science

    Vacuum and Surface Science 67 (3), 131-131, 2024-03-10

    The Japan Society of Vacuum and Surface Science

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