ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

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タイトル別名
  • Diaphragm Type Vacuum Pump

抄録

<p>Diaphragm dry vacuum pumps are used in a wide range of industries, including low-vacuum applications for semiconductor manufacturing processes, analysis, physics and chemistry, medical care, and food industries. In this report, we introduce the features and structure of our diaphragm dry vacuum pumps, as well as the pumps in general.</p>

収録刊行物

  • 表面と真空

    表面と真空 67 (4), 161-164, 2024-04-10

    公益社団法人 日本表面真空学会

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