X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチング条件の検討
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- Matsumura Shotaro
- School of Engineering, Osaka University
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- Morioka Yuki
- Graduate school of Engineering, Osaka University
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- Hirano Takashi
- Graduate school of Engineering, Osaka University
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- Sano Yasuhisa
- Graduate school of Engineering, Osaka University
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- Osaka Taito
- RIKEN SPring-8 Center
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- Matsuyama Satoshi
- Graduate school of Engineering, Osaka University
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- Yabashi Makina
- RIKEN SPring-8 Center
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- Yamauchi Kazuto
- Graduate school of Engineering, Osaka University
Abstract
<p>SPring-8のような大型放射光施設では,X線のバンドパスフィルターとして主にSi結晶モノクロメータが利用されている.一方,GeはSiと比較して格子定数が大きく,(111)面によるX線回折のエネルギー幅が約2.5倍であることから,Ge結晶を用いることで,より高強度な準単色X線が利用可能になる.そこで,大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングのGe結晶に対する加工特性を評価し,表面粗さの悪化なく目標加工量を得るための条件を検討した.</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2019S (0), 772-772, 2019-03-01
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390845702276563584
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- NII Article ID
- 130007702797
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed