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- 長谷川 正樹
- 株式会社日立ハイテクノロジーズ
書誌事項
- タイトル別名
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- Mirror electron microscopy for the detection of nano-scopic defects
- ミラー デンシ ケンビキョウ ニ ヨル ビショウ ケッカン ケンシュツ
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抄録
<p>ミラー電子顕微鏡の歴史は古く,最初の報告は1935年に遡る.その特異な電子像形成原理は,得られた電子像の解釈を極めて困難にするため,試料表面の未知の情報を得るための顕微鏡技術としては,全くといってよいほど普及しなかった.しかしながら,工業利用される材料などの既知試料表面に存在する異常,すなわち欠陥を見つける技術としてミラー電子顕微鏡を捉えた場合,この像形成原理が高感度の欠陥検出を可能にする.本稿では,ミラー電子顕微鏡の結像原理と装置,および各種欠陥検出への応用事例について紹介する.</p>
収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 87 (7), 525-529, 2018-07-10
公益社団法人 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845702285480320
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- NII論文ID
- 130007715819
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 21882290
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 029147312
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可