20世紀とシリコン単結晶

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  • 20th Century and silicon single crystals
  • 20セイキ ト シリコン タンケッショウ

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抄録

<p>半導体デバイスは，物理学が半導体産業によって社会経済構造を変革した最良の例である．そのデバイスはシリコン結晶を土台にしている．本稿では，どのような経緯でシリコンが選ばれ，原料が精製されて単結晶になり，大規模集積回路への道を歩んできたかを年代順に単結晶とウエハー製造の立場から概観した．シリコンの結晶成長の初期におけるわが国の状況と，物づくりの強みを発揮した今日を対比して理解することにより，今後のわが国の産業力の強化に役立つことを期待する．これからの100年もシリコンといわれているが，完全結晶には道半ばであり，基本にかえって点欠陥の制御を含めた結晶成長の正しい理解が求められる．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 76 (8), 927-932, 2007-08-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (22)*注記

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